性能特點(diǎn):
可對(duì)樣品進(jìn)行單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的全自動(dòng)測(cè)試；
屏蔽測(cè)試，完全消除光線對(duì)樣品測(cè)試的影響，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性；
吸附測(cè)試，完全消除全自動(dòng)測(cè)試過(guò)程中樣品移動(dòng)對(duì)測(cè)試的影響；
可不連接電腦使用進(jìn)行單點(diǎn)、中心五點(diǎn)、邊緣五點(diǎn)測(cè)試并把測(cè)試結(jié)果同時(shí)顯示于顯示屏；
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RTS-1345型全自動(dòng)四探針測(cè)試系統(tǒng)是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合全自動(dòng)測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、真空泵、屏蔽罩、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)試，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)采集到計(jì)算機(jī)中加以分析，以表格、圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
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技術(shù)參數(shù)：
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測(cè)量范圍
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電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω.cm；
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可測(cè)晶片直徑
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Φ=200mm；
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恒流源
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電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
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數(shù)字電壓表
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量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；
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四探針探頭基本指標(biāo)
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間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
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四探針探頭應(yīng)用參數(shù)
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(見(jiàn)探頭附帶的合格證)
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模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)
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0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
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整機(jī)測(cè)量*大相對(duì)誤差
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(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%
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整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度
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≤5%
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測(cè)試模式
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連接電腦使用可對(duì)樣品進(jìn)行單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的全自動(dòng)測(cè)試，不連接電腦情況下可進(jìn)行單點(diǎn)、中心五點(diǎn)、邊緣五點(diǎn)測(cè)試并把測(cè)試結(jié)果同時(shí)顯示于顯示屏。
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消除測(cè)試過(guò)程中影響因素
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屏蔽和吸附測(cè)試，完全消除光線和全自動(dòng)測(cè)試過(guò)程中樣品移動(dòng)對(duì)樣品測(cè)試的影響，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性。
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標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
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溫度：23±2℃；
相對(duì)濕度：≤65%；
無(wú)高頻干擾；
無(wú)強(qiáng)光直射；
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主要銷售：LCR測(cè)試儀,,信號(hào)發(fā)生器,數(shù)字存儲(chǔ)示波器,絕緣電阻測(cè)試儀扭力扳手扭矩扳手耐壓測(cè)試儀直流電阻測(cè)試儀數(shù)字電橋等等測(cè)量?jī)x器，測(cè)試儀器，工具等。（點(diǎn)擊關(guān)鍵詞可進(jìn)入相關(guān)產(chǎn)品目錄）扭力測(cè)試儀瓶蓋扭力測(cè)試儀數(shù)字電橋,扭力扳手
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RTS-1345四探針測(cè)試系統(tǒng)
