主要特色:
Ø *大可檢測8" 晶圓 (檢測區(qū)域達10" 范圍 )
Ø 可因應(yīng)不同產(chǎn)業(yè)的晶粒更換或新增檢測項目
Ø 上片后晶圓對位機制
Ø 自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓
Ø 瑕疵規(guī)格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規(guī)格
Ø 影像辨識成功率高達 98%
Ø 可結(jié)合上游測試機晶粒資料,合并后上傳至下一道制程設(shè)備
Ø 提供檢測報表編輯器,使用者可自行選擇適用資料并進行分析
Ø 適合LED、雷射二極體及影像感測器等產(chǎn)業(yè)
技術(shù)規(guī)格:
7935晶圓檢測系統(tǒng)為切割后自動化晶粒檢測機,使用先進的打光技術(shù),可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結(jié)合不同的光源角度、亮度及取像模式,使得 7935可以適用于LED、雷射二極體及影像感測器等產(chǎn)業(yè)。
由于使用高速相機以及自行開發(fā)之檢測演算法,7935可以針對特定瑕疵項目在2 分鐘內(nèi)檢測完2"晶圓,換算為單顆處理時間為15 msec。7935同時也提供了自動 對焦與翹曲補償功能,以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7935可配置不 同倍率之物鏡,使用者可依晶?;蜩Υ贸叽邕x擇適當(dāng)?shù)臋z測倍率。系統(tǒng)搭配的* 小解析度為0.35um,一般來說,可以檢測1um左右的瑕疵尺寸。
選購附件:
Model |
Description |
7935 |
晶圓檢測系統(tǒng) |
主要銷售:LCR測試儀,,信號發(fā)生器,數(shù)字存儲示波器,絕緣電阻測試儀扭力扳手扭矩扳手耐壓測試儀直流電阻測試儀數(shù)字電橋等等測量儀器,測試儀器,工具等。(點擊關(guān)鍵詞可進入相關(guān)產(chǎn)品目錄)扭力測試儀瓶蓋扭力測試儀數(shù)字電橋,扭力扳手
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