主要特色：
- 可同時檢測晶圓正反兩面
- *大可檢測 8 吋晶圓 (檢測區(qū)域達10 吋范圍 )
- 可因應不同產業(yè)的晶粒更換或新增檢測項目
- 上片后晶圓自動對位機制
- 自動尋邊功能可適用于不同形狀之晶圓
- 瑕疵規(guī)格編輯器可讓使用者自行編輯檢測規(guī)格
- 瑕疵檢出率高達 98%
- 可結合上游測試機晶粒資料，合并后上傳至下一道制程設備
- 提供檢測報表編輯器，使用者可自行選擇適用資料并進行分析
技術規(guī)格：
7936雙面晶圓檢測機 由于使用的高速相機以及自行開發(fā)之檢測演算法， 7936可以在4.5分鐘內檢測完2 吋 LED晶圓，換算為單顆處理時間為35msec。7936同時也提 供了自動對焦與翹曲補償功能，以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7936可配置2種不 同倍率，使用者可依晶?；蜩Υ贸叽邕x擇檢測倍率。系統(tǒng)搭配的*小解析度為0.7um，一般來 說，可以檢測2um左右的瑕疵尺寸。
系統(tǒng)功能
在擴膜之后，晶粒或晶圓可能會產生不規(guī)則的 排列，7936也提供了搜尋及排列功能以轉正晶圓。此外，7936擁有人性化的使用介面可降低 學習曲線，所有的必要資訊，如晶圓分布、瑕疵 區(qū)域、檢測參數(shù)及結果等，均可清楚地透過軟體介面呈現(xiàn)。
瑕疵資料分析
所有的檢測結果均會被記錄下來，而不僅僅是 良品/**品的結果。這有助于找出一組*佳參數(shù)，達到漏判與誤判的平衡點。瑕疵原始資料亦 有幫助于分析瑕疵產生之趨勢，并回饋給制程人 員進行改善。
綜合上述說明，Chroma 7936是晶圓檢測制程考 量成本與效能的*佳選擇。
選購附件：
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Model
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Description
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7936
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雙面晶圓檢測系統(tǒng)
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主要銷售：LCR測試儀,,信號發(fā)生器,數(shù)字存儲示波器,絕緣電阻測試儀扭力扳手扭矩扳手耐壓測試儀直流電阻測試儀數(shù)字電橋等等測量儀器，測試儀器，工具等。（點擊關鍵詞可進入相關產品目錄）扭力測試儀瓶蓋扭力測試儀數(shù)字電橋,扭力扳手
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